硬面光掩模用鉻薄膜的標(biāo)準(zhǔn)中，硝酸鈰銨蝕刻液用于蝕刻鉻膜，

硬面光掩模用鉻薄膜的標(biāo)準(zhǔn)中，硝酸鈰銨蝕刻液用于蝕刻鉻膜，優(yōu)勢
無需額外添加緩蝕劑即可實(shí)現(xiàn)高選擇性蝕刻，減少工藝復(fù)雜度。
廢液中重金屬離子（如 Cu2?）可通過離子交換樹脂回收，符合 RoHS 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。