硅片處理劑原料鑒定 配方剖析 成分分析

硅片處理劑是半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)中用于硅片表面處理的關(guān)鍵化學(xué)制劑，主要包括清洗劑、拋光劑、切割液等類型。

一、主要原料與成分
堿性成分：硅酸鈉等提供皂化堿度，用于去除有機(jī)污染物
表面活性劑：如TX-10、TEXZO-NM等非離子表活，增強(qiáng)滲透和分散能力
絡(luò)合劑：EDTA類化合物，有效螯合金屬離子（如銅、鐵）
溶劑體系：二等助溶劑，提高有機(jī)物溶解性
特殊添加劑：緩蝕劑（防止硅片腐蝕）、消泡劑（適配超聲波清洗）

二、典型配方示例
雙組份清洗劑：A劑含+緩蝕劑，B劑為表面活性劑復(fù)配物，使用時(shí)按1:0.5~1比例混合
RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗液：
SC1：NH3OH+H2O2+H2O（1:1:5），去除顆粒和有機(jī)物
DHF：稀釋，去除氧化層和金屬污染
切割液：聚乙二醇基+碳化硅磨料，實(shí)現(xiàn)高懸浮切割

三、核心功效
清潔作用：去除油脂（洗凈率>99%）、金屬離子（去除率98%以上）及顆粒污染物
表面改性：通過化學(xué)鈍化形成保護(hù)層，防止二次污染
工藝適配：低泡特性兼容超聲波清洗，工作溫度通常50-60℃
環(huán)保性能：符合ROHS標(biāo)準(zhǔn)，無磷無重金屬