快速響應(yīng)系統(tǒng)，為半導(dǎo)體設(shè)備打造毫秒級(jí)火災(zāi)預(yù)警滅火體系

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，生產(chǎn)設(shè)備往往需要在高溫、高壓、高精度的環(huán)境下運(yùn)行，同時(shí)還會(huì)使用大量易燃的特種氣體和化學(xué)品。一旦發(fā)生火災(zāi)，不僅會(huì)造成昂貴的設(shè)備損壞，還可能導(dǎo)致整條生產(chǎn)線停工，帶來(lái)巨大的經(jīng)濟(jì)損失。因此，半導(dǎo)體設(shè)備滅火裝置成為保障生產(chǎn)安全的重要防線。

半導(dǎo)體設(shè)備的火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)
半導(dǎo)體工廠的潔凈室內(nèi)布滿精密儀器和復(fù)雜的電氣線路，同時(shí)在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)使用氫氣、硅烷等易燃?xì)怏w。這些氣體一旦泄漏，遇到電火花或高溫就可能引發(fā)火災(zāi)。此外，設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行可能導(dǎo)致局部過(guò)熱，進(jìn)一步增加火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)。如果火勢(shì)蔓延，不僅會(huì)燒毀設(shè)備，還會(huì)污染生產(chǎn)環(huán)境，導(dǎo)致芯片良率下降。