顯微分析及失效分析-晶圓劈裂設(shè)備及SEM拍攝

【DB-FIB TEM超薄樣品切片服務(wù)】

雙束聚焦離子束（DB-FIB）顯微鏡是制備透射電子顯微鏡（TEM）超薄樣品的核心工具。【廣電計量SEM/TEM測試服務(wù)】針對硅基芯片提供截面（XS）與平面（PV）制樣服務(wù)，覆蓋14nm及以下先進制程至55nm等傳統(tǒng)節(jié)點。通過高精度離子束濺射，我們實現(xiàn)納米級薄片切割，厚度可控制在100nm以內(nèi)，確保電子束穿透并獲取高分辨圖像。該服務(wù)廣泛應(yīng)用于芯片工藝驗證、缺陷定位與材料分析，尤其適用于FinFET、金屬互聯(lián)等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的表征。廣電計量擁有標(biāo)準(zhǔn)化流程與CNAS認(rèn)證平臺，保障制樣效率與數(shù)據(jù)可靠性，助力客戶突破制程瓶頸。

【FinFET結(jié)構(gòu)原子級表征案例】
FinFET作為先進制程核心結(jié)構(gòu)，其柵極寬度與界面質(zhì)量直接影響芯片性能。通過DB-FIB制備FinFET超薄切片，利用TEM獲得原子級形貌與晶格圖像。案例顯示，我們成功解析了3nm芯片中Fin的側(cè)壁粗糙度、柵氧層厚度與界面缺陷，為客戶提供工藝優(yōu)化依據(jù)。【廣電計量SEM/TEM測試服務(wù)】涵蓋晶圓級制造與失效分析，結(jié)合EDS進行成分映射，全面支撐高端芯片研發(fā)與量產(chǎn)。

【不耐輻照樣品的預(yù)處理方法】
部分有機物或柔性材料在離子束下不穩(wěn)定，制約FIB應(yīng)用。預(yù)處理方法包括低溫固定、導(dǎo)電涂層與低電壓掃描，提升樣品耐輻照性。服務(wù)覆蓋新型顯示材料、生物傳感器等領(lǐng)域，按小時報價?！緩V電計量SEM/TEM測試服務(wù)】以多技術(shù)融合能力，拓展DB-FIB在跨行業(yè)中的應(yīng)用邊界。