氣浮導軌的分類

氣浮導軌根據工作原理分為兩種基本類型：動壓氣浮導軌和靜壓氣浮導軌。動壓類型兩個表層相對于彼此移動，并且間隙為楔形，并且間隙沿移動方向逐漸變小。由于相對運動，氣體由于其粘性而被拖入楔形間隙中，從而產生壓力并形成動壓懸架。靜壓類型是將外部壓縮氣體通過孔口引入間隙，并利用其靜壓將其懸掛。孔口的功能是在間隙變化時調節(jié)間隙中的壓力。使氣浮導軌具有剛度。氣浮導軌是由導軌和溜板構成的滑動副，在氣浮導軌和溜板之間設置氣膜潤滑。

開式靜壓氣浮導軌的左上角是平面型，右上角為平V型，左下角為雙三角型，右下角為平面回轉型。它們具有以下特征：

（1）承受正向載荷的能力非常大，承受偏載和傾覆力矩的能力很差，不可承受反向載荷；

（2）導軌結構簡單，易于制造和調節(jié)；

（3）當確定導軌的尺寸時，氣腔壓力僅由載荷決定，因此，當載荷較小時，氣膜剛度低。

總而言之，開式靜壓氣浮導軌適用于部分負載和傾覆力矩較小，負載均勻，水平放置或傾斜角度較小的場合。

閉式靜壓氣浮導軌的運動部件在運動方向上具有一個自由度，并且剩余的運動自由度受導軌的結構限制，因此它們在幾何上是閉合的。側導軌在外側的平導軌和側導軌在同一導軌兩側的平導軌雖有相同的氣腔數，但是后者比側前氣隙受熱變形的影響較小，并且可以戰(zhàn)勝可變節(jié)流器時側面氣腔過長的缺點。菱形氣浮導軌的特色是加工面少，適用于載荷不太大，活動部件不太長或旋轉工作臺的場合。

閉式靜壓氣浮導軌具有以下特色：

（1）承受正向和反向載荷，偏心載荷和傾覆力矩的能力比較強；

（2）氣膜的剛度比較高，因此對導軌本身結構的剛度要求也比較高；

（3）導軌的制造和調整較為復雜；

（4）為減少功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結構。

同時，根據安裝特性，氣浮導軌可分為平面封閉式，圓柱封閉式，重力平衡式和真空預緊式。

（1）平面封閉式：沿氣浮方向設計兩個相對的氣膜，以形成氣膜預緊力。適用于高精度，高剛性，高負荷的導軌。

（2）重力平衡式：結構簡單，加工方便，但剛度低，用于載荷變化小的場合；

（3）真空預載型：使用壓力氣體產生浮力以形成懸浮狀態(tài)，并使用真空發(fā)生器產生真空以提高剛度。由于真空的吸收，該推力導向器具有雙向剛度，通過x，y雙向驅動，可以使用單層結構實現二維運動，即起始結構具有封閉特征，改善工作臺的過程性能；

（4）圓柱封閉型：導軌結構簡單，但加工復雜。圓柱導軌的圓柱度和滑板的間隙是通過機械加工確定的，這需要高加工技術。負載能力小且剛度差，通常用于輕負載。