真空系統(tǒng)中不可忽視的幾個問題

真空系統(tǒng)中不可忽視的幾個問題：

??1.將閥門，疏水閥，集塵器和真空泵等真空組件相互連接時，請盡量使泵管短而管流傳導(dǎo)大。 管道的直徑通常不小于泵口的直徑。 這是一個系統(tǒng)設(shè)計(jì)重要原則。 但是同時，有必要考慮安裝和維護(hù)的便利性。 有時為了避免振動并減少噪音，可將機(jī)械泵安裝在靠近真空室的泵室中。

??2.機(jī)械泵（包括羅茨泵）會振動。 為了避免振動擴(kuò)散到整個系統(tǒng)，通常使用軟管來減少振動。 軟管有兩種類型：金屬軟管和非金屬軟管。 無論使用哪種類型的軟管，都必須確保其在大氣壓下不會被壓碎。

??3.真空系統(tǒng)結(jié)束后，應(yīng)易于測量和檢測泄漏。 實(shí)際生產(chǎn)告訴我們，在真空系統(tǒng)的工作過程當(dāng)中，漏氣往往很容易影響生產(chǎn)。 為了快速發(fā)現(xiàn)泄漏，有必要進(jìn)行分段泄漏檢測。 因此，對于閥所包圍的每個間隔，必須至少提供一個測量點(diǎn)，以利于測量和檢漏。

??4.真空系統(tǒng)中配置的閥門和管道應(yīng)使系統(tǒng)的抽氣時間短，易于使用，安全可靠。 通常，在以蒸汽流量泵作為主泵（擴(kuò)散泵或增壓泵）的系統(tǒng)中； 和機(jī)械泵作為后備泵，除了后備管路（與機(jī)械泵串聯(lián)的蒸汽流量泵的管路）外，還應(yīng)有一個預(yù)真空管（從真空室到 機(jī)械泵）。 其次，在真空腔和主泵之間有一個高真空閥（也稱為主閥），在前級管路上有一個前級閥（也稱為低真空閥）。 預(yù)真空管道上的預(yù)真空管道閥（稱為低真空閥）。 主泵上的高真空閥通常不可在閥蓋下方處于真空狀態(tài)，并且閥蓋在大氣壓下是打開的。 這必須通過電氣聯(lián)鎖來固定。 前級閥門和預(yù)真空管道閥門應(yīng)考慮到閥門本身可以在大氣壓下打開。 對于以蒸汽流量泵為主泵的真空系統(tǒng)，主閥應(yīng)覆蓋主泵，前級閥也應(yīng)覆蓋主泵，預(yù)真空管的閥蓋應(yīng)覆蓋真空室。 機(jī)械泵的入口管上應(yīng)設(shè)有放氣閥。 當(dāng)機(jī)械泵停止工作時，可以立即打開閥門，讓機(jī)械泵的入口進(jìn)入大氣，以避免機(jī)械泵油回流到管道中。 因此，閥必須與機(jī)械泵電氣互鎖。 真空室還應(yīng)配備用于裝卸的排氣閥。 閥門的位置應(yīng)考慮到放氣時氣體的脈沖較大，以避免真空室中的弱組分由于過度的脈沖而損壞。 放氣閥的尺寸與真空室的容積有關(guān)，放氣時間不宜過長，以免影響工作。