金剛石劃片機技術特征

? ? ? 1.金剛石劃片機制備光波導的方法、特征以及步驟：

? ? ?（1）金剛石劃片機清洗平面光波導；

? ? ?（2）將刀片安裝在金剛石劃片機的刀架上；

? ? ?（3）用藍色薄膜粘接到平面光波導的背面，粘接后要求均勻無氣泡，將粘接好的平面光波導的粘接面固定安裝在金剛石劃片機的真空吸附操作面板上；

? ? ?（4）調整光波導的位置，根據(jù)波導要求設定切割深度、進給速度和刀片轉速；

? ? ?（5）用金剛石劃片機在平面光波導的上表層刻出凹槽，制成脊形光波導，脊形光波導的寬度x為2-50μm，凹槽的深度為20-200μm，寬度w為50-200μm；

? ? ?（6）將得到的脊形光波導從藍色薄膜或襯底上取下，并對垂直于脊形光波導的兩個端面進行光學拋光。

2.根據(jù)要求1所述的金剛石劃片機制備脊形光波導的方法，其特征在于，所述平面光波導為摻鎂周期性鈮酸鋰平面光波導或釔鋁石榴石平面光波導。

3.根據(jù)要求1所述的通過金剛石劃片機制備脊形光波導的方法，其特征在于步驟（1）中的清洗步驟如下:

用去離子水和無紡布擦洗樣品表層，以去除樣品表層上的大無機顆粒；

用肥皂水進行超聲波清洗，去除有機污染物和無機顆粒，用去離子水沖洗，用氮氣干燥。

4.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟（2）之前，所述方法還包括:在啟動所述金剛石劃片機之后，確認所述水路和所述空氣回路正常運轉，并且將所述水路中的冷卻水的溫度控制在18-22℃。

5.根據(jù)權利要求1所述的通過金剛石劃片機制備脊形光波導的方法，其特征在于，步驟（2）中使用的刀片為樹脂金剛石刀片或電鍍刀片；

優(yōu)選地，包含在刀片中的金剛石顆粒的尺寸小于2微米..

6.根據(jù)權利要求1所述的利用金剛石劃片機制備脊形光波導的方法，其中，

在步驟（3）中，當平面光波導的尺寸在2cm2以下時，用藍色薄膜保護平面光波導，然后用熱熔石蠟固定在5-15cm2尺寸的基片上，然后用藍色薄膜覆蓋基片背面，然后安裝在金剛石劃片機的操作面板上。

7.根據(jù)權利要求1所述的通過金剛石劃片機制備脊形光波導的方法，其特征在于，藍色膜的結合溫度低于100℃。