普發(fā)分子泵 簡介

普發(fā)分子泵，德國普發(fā)真空公司杰作，以超高真空性能、高效抽速、高轉(zhuǎn)速低返流等技術(shù)優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體、鍍膜、分析及精密工業(yè)，展現(xiàn)卓越可靠性、適應(yīng)性與易用性，引領(lǐng)高真空技術(shù)前沿。

普發(fā)分子泵（Pfeiffer Molecular Pumps）是由德國普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）公司制造的一系列高性能渦輪分子泵，廣泛應(yīng)用于需要創(chuàng)造和維持極高真空環(huán)境的各種高新技術(shù)領(lǐng)域，如科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、鍍膜技術(shù)、分析儀器、以及其它精密工業(yè)應(yīng)用。以下是對普發(fā)分子泵的主要特色、技術(shù)優(yōu)勢以及典型應(yīng)用場景的簡介：

技術(shù)特色與優(yōu)勢：

超高真空性能：普發(fā)分子泵可以創(chuàng)造出相對壓力低于10^-8 Pa的超高真空環(huán)境，這對于需要極低氣體殘留的精密實驗和工藝流程至關(guān)重要。

高效抽速：產(chǎn)品線覆蓋了廣泛的抽速范圍，從10升/秒（l/s）至3000升/秒，以適應(yīng)不同規(guī)模和要求的真空系統(tǒng)。例如，HiPace 1800型號的抽速可達1450 l/s，而HiPace 60P型號的抽速為64 l/s。

高轉(zhuǎn)速與低返流：普發(fā)分子泵采用先進的渦輪葉片設(shè)計，實現(xiàn)高于400米/秒的圓周速度，確保高效的氣體傳輸和壓縮。這有助于在泵內(nèi)形成深度真空，并下降氣體返流至前級泵的可能性。

穩(wěn)定性和耐用性：具備出色的機械結(jié)構(gòu)和耐受力，泵外殼經(jīng)過嚴格設(shè)計和，確保在高速運轉(zhuǎn)下的安全性。例如，通過UL 61010和/或Semi S2，表明其符合嚴格的機械安全標準，同時具有防火和轉(zhuǎn)速過高的雙重保護。

綜合自我保護機制：內(nèi)置多種自我保護功能，如過熱保護、轉(zhuǎn)速監(jiān)控等，以保障泵的長期穩(wěn)定運行和故障預(yù)防。

環(huán)境適應(yīng)性強：對環(huán)境溫度、震動、磁場等外部因素影響較小，使得普發(fā)分子泵可以在多種工作條件下保持良好性能，下降了對使用環(huán)境的苛刻要求。

防腐蝕與耐蒸汽：針對特定應(yīng)用，普發(fā)提供防腐蝕型號，可以處理腐蝕性氣體和蒸汽，滿足特殊實驗或生產(chǎn)工藝中對腐蝕防護的需求。

模塊化設(shè)計與靈活性：分子泵設(shè)計緊湊，易于集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。部分型號支持360°任意角度安裝，且可配置小型前級泵，以下降整個系統(tǒng)的復(fù)雜度和成本。此外，如HiPace 80 Neo等型號還采用了分流式設(shè)計（SplitFlow），增加了操作的靈活性。

易于維護與可靠性：普發(fā)分子泵通常具有長壽命和低維護需求，部分型號集成氮氣吹掃閥，便于清理和維護。長期穩(wěn)定性好，下降了客戶的維護成本和停機時間。

應(yīng)用場景：

科學(xué)研究：在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域，用于搭建高真空實驗裝置，如質(zhì)譜分析、表層科學(xué)儀器、粒子加速器等。

半導(dǎo)體制造：在芯片制造過程當中，為光刻、沉積、刻蝕等關(guān)鍵步驟提供所需的超潔凈真空環(huán)境。

鍍膜技術(shù)：在光學(xué)元件、太陽能電池、顯示器等產(chǎn)品的薄膜沉積工藝中，保證高質(zhì)量的薄膜生長條件。

分析儀器：作為比表層孔徑分析儀等精密測量設(shè)備的部件，確保測量結(jié)果的準確性。

工業(yè)應(yīng)用：如電子束焊接、真空干燥、真空包裝等，以及任何需要高真空度以避免氧化、污染或其他氣體干擾的生產(chǎn)過程。

綜上所述，普發(fā)分子泵憑借其卓越的真空性能、可靠性、適應(yīng)性和易用性，在眾多需要極高真空度的領(lǐng)域中扮演著不可或缺的角色。德國普發(fā)真空作為全球分子泵領(lǐng)域的，持續(xù)創(chuàng)新并提供滿足不同客戶需求的定制化解決方案。

北京帕托真空技術(shù)有限公司