金剛石設(shè)備基片臺(tái)的上下升降功能

金剛石設(shè)備基片臺(tái)的上下升降功能

微波等離子體化學(xué)氣相沉積法(MPCVD)工作原理是先將諧振腔抽真空，始終保持諧振腔的密封性，微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波經(jīng)波導(dǎo)管進(jìn)入諧振諧振腔，并通入碳源氣體與氫氣的混合反應(yīng)氣體，在微波的激勵(lì)下，在諧振諧振腔內(nèi)產(chǎn)生輝光放電，使反應(yīng)氣體的離子化并形成各種活性基團(tuán)，然后各種活性基團(tuán)在籽晶上發(fā)生一系列的化學(xué)反應(yīng)并逐漸在籽晶表層發(fā)生吸附、脫附、遷移、擴(kuò)散和沉積，得到金剛石。由于其是用電磁波能量來(lái)激發(fā)反應(yīng)氣體，屬于無(wú)極放電，等離子體純凈，同時(shí)微波的放電區(qū)集中而不擴(kuò)展，能激 活產(chǎn)生各種原子基團(tuán)如原子氫等，產(chǎn)生的離子的動(dòng)能低，不會(huì)腐蝕已生成的金剛石。

在金剛石生長(zhǎng)過(guò)程當(dāng)中，等離子體處于金剛石膜的上面并與金剛石膜保持特定的距離，隨著金剛石膜的不斷生長(zhǎng)，金剛石膜的厚度不斷增加，金剛石膜表層與等離子體的距離也不斷縮小，由于金剛石生長(zhǎng)所需的溫度是等離子體提供的，而金剛石生長(zhǎng)的溫度是特定的，因此，隨著金剛石膜的厚度不斷增加，金剛石此時(shí)的環(huán)境溫度已經(jīng)偏離了特定的生長(zhǎng)溫度，這樣不利于金剛石的生長(zhǎng)。而基片臺(tái)的上下升降功能就可以很好的解決這個(gè)問(wèn)題，當(dāng)金剛石生長(zhǎng)一段時(shí)間后，將基片臺(tái)向下調(diào)節(jié)一定的距離，始終確保金剛石膜和等離子體保持合適的距離。