晶圓切割的方法有哪些？

隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體元件的要求越來越高，不僅減小體積，而且還須不斷提高精度。因此，尤其是在切割過程當(dāng)中，例如，為了減小切割過程當(dāng)中半導(dǎo)體邊緣碎裂的風(fēng)險(xiǎn)，須連續(xù)改進(jìn)半導(dǎo)體的精加工過程，以減少浪費(fèi)。這要求晶圓切割切割刀片越來越薄，并且對(duì)刀片的剛性和硬度的要求越來越高。當(dāng)前，為了獲得每個(gè)晶片更多的半導(dǎo)體部件，高密度晶片不斷地被開發(fā)。

那么晶圓切割被廣泛使用嗎？操作簡(jiǎn)單嗎？晶圓切割有哪些方法？目前，硬脆材料的切割技術(shù)主要包括外圓切割，內(nèi)圓切割和線刻切割。外圓切割組件易于操作，但由于鋸片的剛性差，鋸片在切割過程當(dāng)中容易脫落。這造成刀具的平行度差：而內(nèi)圓弧形切削只能用于直線切削，不可進(jìn)行彎曲切割。線鋸切割技術(shù)具有窄縫，效率高，良好的切片質(zhì)量以及切割曲線的能力，它已經(jīng)成為目前廣泛使用的切割技術(shù)。

晶圓切割切割內(nèi)圓時(shí)，晶圓表層的損傷層很大，這給CMP帶來了很多拋光工作：刀刃寬，材料損失大，產(chǎn)品產(chǎn)量低：木材產(chǎn)量高。生產(chǎn)力低下：一次只能切一塊。當(dāng)晶片直徑達(dá)到300mm時(shí)，內(nèi)刀片的外徑將達(dá)到1.18m。內(nèi)徑為410mm。它給制造，安裝和調(diào)試帶來許多困難，因此，線切割的主要發(fā)展是后期的基于晶片的晶片切割技術(shù)。

金剛石線鋸是過去十年中快速發(fā)展的硬脆材料切割技術(shù)，它包括免費(fèi)援助線鋸和固定式磨料線鋸，根據(jù)鋼絲運(yùn)動(dòng)和機(jī)器的結(jié)冰結(jié)構(gòu)，可將其分為往復(fù)式和單向（圓形）線鋸。當(dāng)前在光電子工業(yè)中，晶圓切割使用廣泛的往復(fù)式多線鋸晶片切割。