可視化光譜共焦位移傳感器原理

　　近年來(lái)，隨著3C產(chǎn)品設(shè)計(jì)和材料技術(shù)的不斷升級(jí)，3C產(chǎn)品加工制造過(guò)程的自動(dòng)測(cè)量越來(lái)越多地采用可視化光譜共焦位移傳感器。可視化光譜共焦位移傳感器在后殼、中框斷面差、相機(jī)斷面差、2D/3D屏型等諸多測(cè)量應(yīng)用中發(fā)揮了獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。可視化光譜共焦位移傳感器是中國(guó)自動(dòng)測(cè)量市場(chǎng)定義的新型傳感器，可以解決很多高精度測(cè)量應(yīng)用。LED光源發(fā)出一束廣譜多色光(白色)，通過(guò)色散透鏡發(fā)生光譜色散，在測(cè)量范圍內(nèi)形成不同波長(zhǎng)的單色光。每個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)對(duì)應(yīng)于一個(gè)距離值。測(cè)量光從物體表層反射，只有滿足共焦條件的單色光才能被光譜儀通過(guò)小孔感應(yīng)到。通過(guò)計(jì)算感測(cè)焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，通過(guò)轉(zhuǎn)換獲得距離值。

　　大角度特性

　　角度特性是指可測(cè)量樣品的較大傾角。當(dāng)激光位移傳感器測(cè)量非平面時(shí)，由于反射光的差異，不可能精確測(cè)量?jī)A斜度或曲面。THINKFOCUS傳感器采用光譜共焦測(cè)量技術(shù)，保證即使被測(cè)物體傾斜或曲面過(guò)大，也能高精度測(cè)量形狀。THINKFOCUS共焦位移傳感器對(duì)漫反射面的探頭可達(dá)87個(gè)，鏡面反射THINKFOCUS共焦位移傳感器的各類(lèi)探頭基本可達(dá)20個(gè)以上。日系和國(guó)產(chǎn)可視化光譜共焦位移傳感器因?yàn)檫@個(gè)參數(shù)很低，大部分都沒(méi)有明確標(biāo)注。角度特性不好會(huì)造成很多異常位置無(wú)法正常測(cè)量。高端光譜共焦傳感器必須用于測(cè)量非平面表層，尤其是3D玻璃輪廓、點(diǎn)膠高度和高光金屬表層級(jí)差。

　　測(cè)量點(diǎn)較小。

　　激光位移傳感器存在形狀和輪廓失真、邊緣位置異常波動(dòng)、檢測(cè)精度下降等問(wèn)題，由于它的三角測(cè)距原理和大光斑，在測(cè)量時(shí)會(huì)出現(xiàn)臺(tái)差和間隙。采用光譜共焦測(cè)量技術(shù)，最小測(cè)量光斑可小至10μm，可以測(cè)量清晰的輪廓，保證極高的測(cè)量精度。