pvd鍍膜機(jī)原理分析

　　pvd鍍膜機(jī)是目前廣泛用于制造真空條件的一種真空設(shè)備。一般采用真空室、真空單元、電氣控制柜三種工作原理。

　　pvd鍍膜機(jī)的大小根據(jù)加工產(chǎn)品的要求而有所不同。目前大部分真空室直徑有0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由不銹鋼制成，要求不生銹且堅(jiān)固。pvd鍍膜機(jī)的每個(gè)部分都有一個(gè)連接閥，用于連接泵。

　　輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)是pvd鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要組成部分，主要由機(jī)械泵、增壓泵(主要是羅茨泵)和油擴(kuò)散泵組成。這個(gè)排氣系統(tǒng)由“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。

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　　排氣過(guò)程如下:機(jī)械泵先將真空室抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后續(xù)抽真空提供前提。然后，當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空時(shí)，機(jī)械泵與油擴(kuò)散泵串聯(lián)，從而完成抽氣動(dòng)作。

　　使用pvd鍍膜機(jī)時(shí)，每完成200道以上的鍍膜工序，都要用苛性鈉(NaOH)飽和溶液清洗設(shè)備，反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁。目的是使被包覆的鋁(AL)與NaOH反應(yīng)，反應(yīng)后薄膜脫落，釋放出氫氣。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布清洗細(xì)抽閥內(nèi)的污漬。每完成200道涂裝工序，pvd鍍膜機(jī)就要清理一次。當(dāng)粗抽泵(滑閥泵、旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半)時(shí)，也需要更換新油。擰下油螺栓，排出舊油，然后啟動(dòng)泵幾秒鐘，將泵內(nèi)的舊油完全排出。擰回注油螺栓，并添加新油至額定量(用油鏡觀察)。