材料FIB階梯減薄技術(shù)-xrd掃描電鏡
廣州廣電計(jì)量檢測(cè)股份有限公司
2025-11-21 12:21:39
【常規(guī)定點(diǎn)截面加工技術(shù)應(yīng)用】








【GAA架構(gòu)分析與未來(lái)技術(shù)布局】
隨著晶體管技術(shù)向GAA(全環(huán)繞柵極)演進(jìn),結(jié)構(gòu)復(fù)雜度顯著提升。廣電計(jì)量已具備GAA架構(gòu)的DB-FIB制樣與TEM分析能力,通過(guò)多層切片與三維重構(gòu),解析納米線/片柵極包裹界面與材料均勻性。我們與多家高校及企業(yè)合作,提前布局3nm以下技術(shù)節(jié)點(diǎn),為客戶(hù)提供前瞻性分析服務(wù)?!緩V電計(jì)量電鏡掃描測(cè)試】以技術(shù)迭代與產(chǎn)學(xué)研協(xié)同,助力中國(guó)半導(dǎo)體邁向更高制程。


【脆性材料FIB階梯減薄技術(shù)應(yīng)用】
碳化硅、氮化鋁等脆性材料在FIB加工中易開(kāi)裂,影響制樣成功率。采用階梯減薄法,通過(guò)逐層濺射與低劑量拋光,控制應(yīng)力集中,獲得完整超薄切片?!緩V電計(jì)量電鏡掃描測(cè)試】該專(zhuān)利技術(shù)已用于功率器件與射頻元件分析,結(jié)合TEM實(shí)現(xiàn)界面與缺陷表征,為客戶(hù)提供高難度樣品的解決方案。




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關(guān)鍵詞:電鏡掃描,電鏡掃描sem,掃描電鏡成像,TEM透射電子顯微鏡拍攝分析
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